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具有包括不同材料层的公共源线的存储器件制造技术
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下载具有包括不同材料层的公共源线的存储器件的技术资料
文档序号:26692334
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一种存储器件包括:栅结构,包括在衬底的上表面上堆叠的多个栅电极层;多个沟道区,穿过栅结构并且沿与衬底的上表面垂直的方向延伸;源极区,设置在衬底上沿第一方向延伸,并且包括杂质;以及公共源线,沿与衬底的上表面垂直的方向延伸,与源极区相连,并且包...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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