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半导体结构及其制造方法技术
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文档序号:26692330
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本发明涉及一种半导体结构及其制造方法,该制造方法包括:提供衬底;在衬底上方形成堆叠层,堆叠层包括核心存储区和台阶区,台阶区包括连接区和至少一个分区台阶区,连接区用于连接每个分区台阶区和核心存储区;形成初始掩模图案,初始掩模图案覆盖连接区和每...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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