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一种半导体器件及其检测方法技术
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文档序号:26692254
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本申请公开了一种半导体器件及其检测方法,半导体器件包括第一半导体结构、与第一半导体结构键合连接的第二半导体结构、以及键合检测结构;其中,键合检测结构包括段片式导电结构以及信息产生装置,段片式导电结构包括分布于第一半导体结构中的第一段片和分布...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。
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