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半导体装置和制造该半导体装置的方法。一种制造半导体装置的方法包括：在基板上形成包括水平凹部的叠层结构；形成阻挡层作为水平凹部的内衬；在阻挡层上形成包括介电阻隔元件和导电阻隔元件的界面控制层；以及在界面控制层上形成导电层以填充水平凹部。...
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