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本申请公开了一种匀胶显影系统、位置校准装置及其校准方法，该校准方法包括：获得晶片的实际中心点坐标；以及根据实际中心点坐标与理论中心点坐标控制机械手将晶片移动到预设位置，其中，获得晶片的实际中心点坐标的步骤包括：获取晶片的部分边缘的初始图像；...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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