下载一种混合式热驱动波前改正装置的技术资料

文档序号:26688794

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本发明公开了一种混合式热驱动波前改正装置,包括:切向加热片、热驱动促动器和力矩方向保持机构,切向加热片位于镜面下方,镜面边缘底部设有多个热驱动促动器和力矩方向保持机构,热驱动促动器用于对镜面施加边缘力矩,切向加热片用于对镜面施加切向力,力矩...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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