一种混合式热驱动波前改正装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种混合式热驱动波前改正装置，包括：切向加热片、热驱动促动器和力矩方向保持机构，切向加热片位于镜面下方，镜面边缘底部设有多个热驱动促动器和力矩方向保持机构，热驱动促动器用于对镜面施加边缘力矩，切向加热片用于对镜面施加切向力，力矩方向保持机构用于支撑镜面。本发明专利技术通过无移动部件，即可实现样本的大范围无色散波前像散校正，对光路中由于光瞳照明不均匀的补偿与光路对准误差；此外还具有刚度高、电磁兼容性好的特点，可以用于更加极端的环境，其次降低了支撑的复杂程度，提高了镜体的比刚度。另外不需要高压运放电路，同时基于热量传导，可以较长时间的保持，降低对波前探测系统的要求。

【技术实现步骤摘要】
一种混合式热驱动波前改正装置
本专利技术涉及波前校正装置领域，特别是涉及一种混合式热驱动波前改正装置。
技术介绍
在考虑了加工工艺、环境适应性以及装配工艺的影响，系统本身的精度保持能力越来越难以满足未来精密光学设备对成像质量的要求，通常需要使用光程补偿元件。传统的主动光学或自适应光学通常采用底部推拉的结构形式，通过改变镜面的矢高来调节光程。当校正低阶面形式，内圈促动器利用率较低，而且推拉的方式会在表面产生硬透，尤其是对于低阶的面形校正，会出现严重的高频泄漏现象。针对镜面刚度较大的情况，单个促动器作用均匀引入整体镜面的倾斜。此外随着径厚比的增加，印透带来的高频分量会逐渐增加。因此，如何提供一种波前改正装置，以提高其适用范围，是本领域技术人员急需解决的技术问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种混合式热驱动波前改正装置，可以有效提高其适用范围。为解决上述技术问题，本专利技术提供了如下技术方案：一种混合式热驱动波前改正装置，包括：切向加热片、热驱动促动器和力矩方向保持机构，所述切向加热片位于本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种混合式热驱动波前改正装置，其特征在于，包括：切向加热片、热驱动促动器和力矩方向保持机构，所述切向加热片位于镜面下方，镜面边缘底部设有多个所述热驱动促动器和所述力矩方向保持机构，所述热驱动促动器用于对镜面施加边缘力矩，所述切向加热片用于对镜面施加切向力，所述力矩方向保持机构用于支撑镜面。/n

【技术特征摘要】
1.一种混合式热驱动波前改正装置，其特征在于，包括：切向加热片、热驱动促动器和力矩方向保持机构，所述切向加热片位于镜面下方，镜面边缘底部设有多个所述热驱动促动器和所述力矩方向保持机构，所述热驱动促动器用于对镜面施加边缘力矩，所述切向加热片用于对镜面施加切向力，所述力矩方向保持机构用于支撑镜面。


2.根据权利要求1所述的混合式热驱动波前改正装置，其特征在于，所述力矩方向保持机构包括基座和支撑部，所述支撑部位于镜面底部，所述基座的上部设有下凹的弧形面，所述支撑部底部和所述弧形面之间设有多个柔性铰链。


3.根据权利要求2所述的混合式热驱动波前改正装置，其特征在于，所述热驱动促动器包括两个位于所述力矩方...

【专利技术属性】
技术研发人员：安其昌，张景旭，李洪文，刘炎森，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22