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本发明涉及一种高纯铝靶材组件焊接扩散层SEM检测的制样方法，所述制样方法包括如下步骤：(1)将样品依次进行第一抛光、第二抛光及第三抛光，至表面无划痕；(2)将抛光后的样品置于含铜溶液中进行处理，之后进行清洗，得到待检测样品。通过本发明提供的...
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