下载一种单分子层半导体高聚物薄膜的制备方法的技术资料

文档序号:26683480

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本发明提供了一种单分子层半导体高聚物薄膜的制备方法,所述方法包括:将高聚物溶解于有机溶剂中,获得浓度为20μg/ml~50μg/ml高聚物溶液,所述有机溶剂为甲苯、间二甲苯、对二甲苯中的一种;获得衬底,将所述高聚物溶液滴加到所述衬底的表面,...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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