下载压力传感器封装结构的技术资料

文档序号:26672202

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本实用新型提供一种压力传感器封装结构,其包括:基板;柔性外壳,与所述基板围成密封腔体;至少一压力传感器芯片,设置在所述腔体内,所述压力传感器芯片具有压力敏感面及电连接面,所述压力敏感面朝向所述柔性外壳的内侧上表面,在受到外界压力时,所述柔性...
该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。

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