下载一种半导体器件的技术资料

文档序号:26652393

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本申请公开了一种半导体器件,所述器件包括衬底;位于所述衬底上的半导体层;位于所述半导体层远离衬底一侧的介质层;位于所述半导体层远离衬底一侧的源极、漏极以及位于源极和漏极之间的栅极;位于所述栅极和漏极之间的场板凹槽;位于所述介质层远离衬底一侧...
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