下载半导体器件的技术资料

文档序号:26652368

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本发明提供一种半导体器件,该半导体器件包括:基板;在基板上的位线结构;接触插塞结构,与位线结构相邻并且沿垂直于基板的上表面的竖直方向延伸;以及电容器,电连接到接触插塞结构。接触插塞结构包括顺序堆叠在基板上的下接触插塞、金属硅化物图案和上接触...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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