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本发明公开了一种晶圆清洗系统及晶圆清洗方法，该晶圆清洗系统包括：清洗槽；相互连接的晶圆夹具和机械手，所述晶圆夹具用于固定晶圆，所述机械手驱动所述晶圆进出所述清洗槽，并驱动所述晶圆在所述清洗槽内旋转。该晶圆清洗系统通过设置用于搬运晶圆进出清洗...
该专利属于新阳硅密(上海)半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过新阳硅密(上海)半导体技术有限公司授权不得商用。

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