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光学多层反射镜和具有其的法布里-珀罗干涉仪制造技术
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下载光学多层反射镜和具有其的法布里-珀罗干涉仪的技术资料
文档序号:2665079
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一种Fabry-Perot干涉仪的光学多层反射镜包括作为第二和第四高折射率层(5,9)的每者的侧壁提供的加强部分。分别将所述加强部分构造为支持覆盖所述第一和第二低折射率层(4,8)的每者的顶表面的第二和第四高折射率层的部分,并且经由所述第一...
该专利属于株式会社电装所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社电装授权不得商用。
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