光学多层反射镜和具有其的法布里－珀罗干涉仪制造技术

一种Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ干涉仪的光学多层反射镜包括作为第二和第四高折射率层（５，９）的每者的侧壁提供的加强部分。分别将所述加强部分构造为支持覆盖所述第一和第二低折射率层（４，８）的每者的顶表面的第二和第四高折射率层的部分，并且经由所述第一和第二低折射率层（４，８）中的每者抵达所述第一和第三高折射率层。在凭借通过选择第一到第四高折射率层以及第一和第二低折射率层的材料获得高ｎ比时，即使第一和第二低折射率层缺少机械强度，所述加强部分也有助于防止第二和第四高折射率层发生弯曲。因而，所述光学多层反射镜以宽高反射率波段为特征。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及以高反射率波段宽为特征的光学多层反射镜和具有其的法布里-珀罗(Fabry-Perot)干涉仪。
技术介绍
作为常规技术，专利文献l提出了一种Fabry-Perot干涉仪，其 利用光学多层结构提供了高反射率反射镜。所述Fabry-Perot干涉仪 包括彼此相对布置的下部和上部反射镜，二者之间具有空气隙。根 据专利文献1，通过在衬底上交替层叠二氧化硅层和多晶Si层形成 下部反射镜。通过交替层叠(layering)硅层和二氧化物层形成上部 反射镜。采用光学多层构造高反射率反射镜。-专利文献1: JP-3457373但是，所述光学多层对波长具有很大的依赖性，并且使反射镜 的高反射率波段变窄。Fabry-Perot干涉仪的光谱波段对应于反射镜 的高反射率波段。因此，采用具有窄高反射率波段的反射镜的 Fabry-Perot干涉仪使所述光谱波段变窄。
技术实现思路
考虑上述内容得到了本专利技术。因此，本专利技术的目的在于提供一 种以宽高反射率波段为特征的光学多层反射镜和具有其的 Fabry-Perot干涉仪。为了实现上述目的，作为本专利技术的例子，提供了如下所述的光 学多层反射镜。所本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光学多层反射镜，其包括下部反射镜和上部反射镜，所述下部反射镜布置在衬底上，所述上部反射镜经由间隙面对所述下部反射镜，所述下部反射镜包括：第一高折射率层，其布置在所述衬底上，并以第一折射率为特征；第一低折射率层，其被布置为面对所述第一高折射率层，并以小于所述第一折射率的第二折射率为特征；第二高折射率层，其被布置为覆盖所述第一低折射率层；以及第一加强部分，其被构造为支持覆盖所述第一低折射率层的顶表面的所述第二高折射率层的部分，并经由所述第一低折射率层抵达所述第一高折射率层，所述上部反射镜包括：第三高折射率层，其布置在所述衬底上，并以所述第一折射率为特征；第二低折射率层，其被布置为面对所述第三高...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：铃木爱美，和户弘幸，吉田贵彦，
申请(专利权)人：株式会社电装，
类型：发明
国别省市：JP[日本]