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本申请涉及一种检测及清理光掩模的玻璃面及膜面上的微尘的装置及方法。所述装置包括：装载单元，装载单元包括用于保持光掩模的保持部；检测单元，检测单元用于检测光掩模上的微尘；清理单元，清理单元用于对检测到的微尘进行清理。在应用微尘清理装置时，可以...该专利属于中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所;真芯(北京)半导体有限责任公司授权不得商用。