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本发明公开了一种用于对周期阵列结构中的周期栅阵进行测量的测量方法，包括：获取所述周期阵列结构的图像并获取所述图像的像素间距值；在所述图像上绘制覆盖多个所述周期栅阵的测量线；确定所述测量线上至少一部分像素的坐标值和图像特征值、以及所述测量线的...
该专利属于广东广纳芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东广纳芯科技有限公司授权不得商用。

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