下载铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法的技术资料

文档序号:26647044

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本发明涉及一种铝钕合金旋转溅射靶材及其制备方法。铝钕合金旋转溅射靶材包括本体,本体的最外层为氧化层,本体包括溅射端和分别位于溅射端两边的安装端,溅射端与安装端为一体成型。上述铝钕合金旋转溅射靶材中,一方面,溅射端与安装端为一体成型,这样能够...
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