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本发明提供一种基板加工装置。提供一种能够使基板加工装置的维护作业简易化的技术。基板加工装置包括：旋转盘，其以对基板进行加工的工具能够更换的方式安装该工具；主轴电动机，其使所述旋转盘旋转；升降机构，其借助所述主轴电动机使所述旋转盘升降；面板，...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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