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本发明提供了一种部件清洗装置，包含承载组件以及清洗槽；所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门，所述槽体用于盛放酸溶液...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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