【技术实现步骤摘要】
部件清洗装置
本专利技术涉及设备清洗
，尤其涉及一种部件清洗装置。
技术介绍
目前一些半导体设备的部件需要用酸溶液进行清洗，清洗方式是作业人员带着耐酸手套将需清洗部件放入酸溶液中浸泡后，并将其拿出放在去离子水下进行冲洗。当耐酸手套破损时，作业人员的皮肤容易被强酸腐蚀；当作业人员将需清洗部件放入盛有酸溶液的容器中，如果部件不慎掉入盛有酸溶液的容器中，则容易导致酸溶液溅起，导致作业人员被飞溅的强酸伤害；当作业人员将部件从强酸中转移至去离子水中时，被浸泡后的部件表面比较湿滑，如果部件不慎掉落，会造成部件损坏，导致成本损失。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种部件清洗装置，以解决作业人员容易被强酸伤害和清洗过程中部件容易掉落的问题。为了达到上述目的，本专利技术提供了一种部件清洗装置，包含承载组件以及清洗槽；所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门，...
【技术保护点】
1.部件清洗装置，其特征在于，包含承载组件以及清洗槽；/n所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；/n所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门，所述槽体用于盛放酸溶液，所述槽体与所述排液管连通，所述排液阀门设置于所述排液管上。/n
【技术特征摘要】
1.部件清洗装置，其特征在于，包含承载组件以及清洗槽；
所述承载组件包含承载腔及把手，所述把手设于承载腔上，所述承载腔上设有一供部件进出的开口，所述承载腔的腔壁上设置有若干进出液口；
所述清洗槽包含槽体、排液管和排液阀门，所述槽体用于盛放酸溶液，所述槽体与所述排液管连通，所述排液阀门设置于所述排液管上。
2.如权利要求1所述的部件清洗装置，其特征在于，所述进出液口均匀分布于所述承载腔的腔壁上。
3.如权利要求1所述的部件清洗装置，其特征在于，所述承载腔为方形、圆柱形或圆台形。
4.如权利要求1所述的部件清洗装置，其特征在于，所述承载组件和清洗槽均采用PP材料制成。
5.如权利要求1所述的部件清洗装置，其特征在于，所述槽体的槽口的尺寸大于所述承载腔...
【专利技术属性】
技术研发人员：方鑫，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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