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本实用新型公开了一种多晶硅钝化接触太阳能电池氧化硅薄膜沉积装置，包括：石墨舟组件；内部中空的沉积箱，所述沉积箱的前侧和/或后侧开设有通往沉积箱内部的石墨舟进出口；给排气组件，其包括分别从所述沉积箱的顶部与底部通往所述沉积箱内部的进气管与排气...
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