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本发明涉及一种厚度调节混合制作多级微反射镜的方法，包括如下步骤：制作ｎ个基片并对其进行清洗处理；将基片并分成Ｎ组基片单元，然后研磨、抛光四个侧面；第一组基片单元上下侧表面之间的高度为Ｈ，依此类推，第Ｎ组基片单元上下侧表面之间的高度为Ｈ＋（Ｎ...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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