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本发明公开了一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法，其中制造方法包括：提供第一基板，第一基板的上表面形成有多个相互隔离的第一空腔；在每一第一空腔中形成第一牺牲层，使第一牺牲层的上表面与第一基板的上表面齐平；形成多个声波谐振器单元，每一声波谐振器...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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