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本发明公开了一种薄膜压电声波滤波器及其制造方法，其中薄膜压电声波滤波器包括：第一基板；置于第一基板上的多个声波谐振器单元；每一声波谐振器单元包括压电感应片体、用于对压电感应片体施加电压的且彼此相对的第一电极、第二电极；位于第一基板上的盖帽层...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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