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一种体声波谐振器及其制造方法，该体声波谐振器包括：压电叠层；位于压电叠层上的介质层，介质层中设有贯穿介质层空腔；位于介质层上的基板，基板覆盖介质层；位于基板中的伪腔，伪腔贯穿基板，且伪腔延伸至空腔外围的介质层中；位于介质层中的气压平衡孔，气...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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