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本发明提供一种体声波谐振器及其制造方法，采用对空腔的边缘区域进行局部开孔的方式，在空腔的边缘上方的压电叠层中刻出至少一个与空腔连通的通孔，以使空腔与大气连通，进而使原本接近真空的空腔变成一个大气压，解决空气内外压力差异问题，同时还不会影响谐...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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