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本发明公开了一种薄膜体声波谐振器及其制造方法及滤波器、电子设备，其中所述制造方法包括：形成电极层，刻蚀所述电极层，所述刻蚀电极层的步骤包括：在所述电极层上形成光阻挡层,所述光阻挡层能够阻止光线的通过，并能作为图形化所述电极层的掩膜层；在所述...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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