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本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制作方法，在第一衬底上依次形成第一电极层、压电材料层及第二电极层，然后在第二电极层上形成支撑层，在所述支撑层中形成顶部开口的空腔，接着将支撑层与第二衬底键合，然后去除第一衬底，并图案化第一电极层、压电材料层...
该专利属于中芯集成电路(宁波)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯集成电路(宁波)有限公司授权不得商用。

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