下载一种圆片级芯片扇出三维堆叠封装结构及其制作方法的技术资料

文档序号:26603254

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本发明公开了一种圆片级芯片扇出三维堆叠封装结构及其封装方法,属于半导体封装技术领域。其包括下部封装体、再布线层(150)和上部封装体,所述上部封装体堆叠设置在下部封装体的上方,并通过再布线层(150)实现电信连接;芯片Ⅰ(110)周围设置有...
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