温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提出一种半导体器件及其制造方法,包括:提供一衬底,所述衬底中至少包括下拉区和通道区,所述下拉区的宽度等于所述通道区的宽度;形成栅极氧化层于所述衬底上,所述栅极氧化层覆盖所述下拉区和所述通道区;形成多晶硅层于所述栅极氧化层上;形成图案化...该专利属于晶芯成(北京)科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过晶芯成(北京)科技有限公司授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提出一种半导体器件及其制造方法,包括:提供一衬底,所述衬底中至少包括下拉区和通道区,所述下拉区的宽度等于所述通道区的宽度;形成栅极氧化层于所述衬底上,所述栅极氧化层覆盖所述下拉区和所述通道区;形成多晶硅层于所述栅极氧化层上;形成图案化...