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本发明提供一种清洗设备，包括：清洗平台以及清洗装置，所述清洗平台上设置有清洗工位；所述清洗工位用于放置晶盒或花篮；所述清洗装置包括围绕所述清洗工位设置的多个喷头，所述多个喷头用于向放置在所述清洗工位上的所述晶盒或所述花篮喷射清洗介质。通过本...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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