下载闪烁器面板和放射线图象传感器的技术资料

文档序号:2657802

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在闪烁器面板1的a-C制的基片10的一侧的表面上形成作为光反射膜的Ag膜12。这个Ag膜12的整个表面被用于保护Ag膜12的SiN膜14覆盖。在这个SiN膜14的表面上形成将入射的放射线变换成可见光的柱状构造的闪烁器16。这个闪烁器16和基...
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