闪烁器面板和放射线图象传感器制造技术

技术编号:2657802 阅读:193 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
在闪烁器面板1的a-C制的基片10的一侧的表面上形成作为光反射膜的Ag膜12。这个Ag膜12的整个表面被用于保护Ag膜12的SiN膜14覆盖。在这个SiN膜14的表面上形成将入射的放射线变换成可见光的柱状构造的闪烁器16。这个闪烁器16和基片10一起被聚对二甲苯膜18覆盖。(*该技术在2020年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于医疗用的X射线摄影等的闪烁器面板和放射线图象传感器。作为有代表性的放射线检测器,存在着具有将在铝,玻璃,融化石英等的基片上形成闪烁器的闪烁器面板和摄像元件粘合在一起的构造的放射线检测器。在这种放射线检测器中,用闪烁器将从基片一侧入射的放射线变换成光后由摄像元件检测出来(请参照日本平成7年公布的7-21560号专利公报)。可是为了在放射线检测器上得到鲜明的图象,必须用光输出足够大的闪烁器面板,但是在上述放射线检测器中光输出都不足够大。本专利技术的闪烁器面板的特征是备有透过放射线的基片,设置在上述基片上的反射性金属薄膜,覆盖上述反射性金属薄膜全体的保护膜,和堆积在上述保护膜上的闪烁器。如果根据本专利技术的闪烁器面板,则因为反射性金属薄膜全体被保护膜覆盖,所以能够防止由于在闪烁器中含有的很少水分引起的变质等,从而能够防止反射性金属薄膜作为反射膜的功能减退。因此,能够维持增大了的闪烁器面板的光输出。又,本专利技术的闪烁器面板的特征是备有透过放射线的基片,设置在上述基片上的反射性金属薄膜,设置在上述反射性金属薄膜上的保护膜,和堆积在除上述保护膜上的边缘部分外的位置上的闪本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种闪烁器面板,它的特征是它备有透过放射线的基片,设置在上述基片上的反射性金属薄膜,覆盖上述反射性金属薄膜全体的保护膜,和堆积在上述保护膜上的闪烁器。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:本目卓也高林敏雄
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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