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本发明实施例公开了一种用于角抛光硅片样品的装置、设备及方法，所述装置包括：具有用于抛光所述硅片样品的抛光面的抛光板，所述抛光板被驱动成绕公转轴线进行公转的同时绕自转轴线进行自转，其中，所述公转和所述自转的转向相反；固定至所述抛光板的环形构件...
该专利属于西安奕斯伟硅片技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安奕斯伟硅片技术有限公司授权不得商用。

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