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一种微条粒子探测器，包括衬底（１）及其表面涂层（２）以及顶电极（３）和背电极（４），其特征在于，衬底（１）采用［１００］硅片；在该衬底（１）的上表面是［１００］晶面的金刚石薄膜涂层（２）；在金刚石薄膜涂层（２）表面的是顶电极（３），该顶电极...
该专利属于上海大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海大学授权不得商用。

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