下载测量装置的技术资料

文档序号:26565544

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型实施例提供了一种测量装置,包括:承载台、限位子装置、插刀子装置;其中,键合晶圆设置在所述承载台上;所述承载台转动时,能够带动所述键合晶圆转动;所述限位子装置的侧面设置有一槽口;其中,通过转动所述承载台更换所述键合晶圆的待测试位置;...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。