下载半导体结构的技术资料

文档序号:26533266

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本公开涉及一种半导体结构及其形成方法。根据本发明实施例的结构包含互连结构,在互连结构上方的氧化铝层,以及在氧化铝层上方形成的晶体管。晶体管包含氧化亚铜。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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