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本发明提供一种晶圆的干燥方法，其在喷头移动的整个预设路径中选择至少一段路程开启喷头以向旋转中的晶圆表面喷出干燥气体，同时根据喷头和晶圆的中心之间的水平间距的变化调节喷头移动的速度。这样，可以根据晶圆表面各个位置上的线速度和离心力差异，灵活调...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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