下载微透镜阵列的形成方法的技术资料

文档序号:26530067

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本发明提供了一种微透镜阵列的形成方法,包括提供半导体衬底,所述半导体衬底包括像素区域和外围区域;在所述半导体衬底上涂布光刻胶并对所述光刻胶进行烘烤,利用所述像素区域和所述外围区域存在的台阶,在所述像素区域形成具有一定形貌的光刻胶层;对所述光...
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