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本发明提供一种晶圆电性测试方法及测试设备，将各电性测试项的通过条件定义在初始测试参数中，而后对晶圆上的多个位置区域依次进行测试，在对一所述位置区域上一电性测试项进行测试时，判断所述位置区域上所述电性测试项的测试结果是否满足所述通过条件；若不...
该专利属于晶芯成(北京)科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过晶芯成(北京)科技有限公司授权不得商用。

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