下载3DNAND存储器件的结构及其形成方法的技术资料

文档序号:26509045

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提供了一种3D NAND存储器件的结构和制造方法,所述3D NAND存储器件的结构包括:衬底;所述衬底上的第一堆叠层;所述第一堆叠层上的第二堆叠层;所述第一堆叠层与所述第二堆叠层之间的阻隔层;以及延伸穿过所述第一堆叠层、所述阻隔层和所述第二...
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