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本发明公开一种加热器和加热基座，加热器用于半导体设备，加热器包括加热主体和底座，所述底座包括相互连接的座本体和立板，所述座本体与所述加热主体相对且间隔设置，所述立板与所述加热主体固定连接，所述立板和所述座本体中的至少一者设置有弹性折弯结构，...
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