下载一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机的技术资料

文档序号:26508218

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本实用新型提供一种组合式PVD镀膜靶材及PVD镀膜机,所述组合式PVD镀膜靶材包括材质不同的靶材本体和底座,所述靶材本体与所述底座分体设置,所述底座的第一端与所述靶材本体的一端连接,将所述底座与所述靶材本体组合为一体。本实用新型的组合式PV...
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