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本发明的目的在于提供一种探头片，它能独立于测量对象的电极的高度上的分散性而实现正确测量；以及使用其的探头片单元。探头片单元Ａ是用于测量对象Ｂ的测量仪器（未示出）的检测部分，它包括：安装到仪器的探测器上的基板１００；安装在基板的下表面上的探头...
该专利属于日本电子材料株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过日本电子材料株式会社授权不得商用。

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