下载一种用于大口径光学元件加工的可变形柔性抛光工具的技术资料

文档序号:26489610

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本发明提供一种用于大口径光学元件加工的可变形柔性抛光工具,包括抛光垫、支撑板、轴向连接件、弹性挡圈、滚珠花键轴、滚珠花键轴套、连接柄、筒夹螺帽、连接盘、盖板、连接销钉、球头连接件、轴端连接销钉、限位销钉、弹簧筒夹以及若干弹性浮动单元等,弹性...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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