【技术实现步骤摘要】
一种用于大口径光学元件加工的可变形柔性抛光工具
本专利技术涉及一种光学抛光工具，具体涉及一种用于大口径非球面光学零件表面加工的抛光工具，属于大口径光学加工领域。
技术介绍
目前，大口径非球面光学元件的应用日益增多，特别是在光学遥感、资源勘探以及环境监控等领域有极大需求。当前制约大口径光学元件快速应用的主要限制条件之一就是加工效率，特别是光学元件在前、中期的抛光效率。抛光的前中期，不仅需要快速去除研磨产生的破坏层，还需要实现面形误差的快速收敛以及各个频段误差的控制。为了提高大口径光学元件的效率，就需要使用大口径的抛光工具。但是，大口径的抛光工具由于覆盖面积大，这就对非球面光学元件表面局部差异适应有很高的要求。目前使用的大盘抛光工具受制于自身结构限制，对非球面的适应性较差，即抛光盘与工件表面之间的贴合程度不够高，不仅会影响加工效率、表面质量，还会因为实际接触区与理论接触区差异较大而影响面形误差的收敛。因此，亟需一种可以很好适应加工表面的大口径抛光工具。
技术实现思路
本专利技术为解决现有大口径非球面光学零件加...
【技术保护点】
1.一种用于大口径光学元件加工的可变形柔性抛光工具，其特征在于，该抛光工具包括：抛光垫(1)，支撑板(2)，轴向连接件(3)，弹性挡圈(4)，滚珠花键轴(5)，滚珠花键轴套(6)，连接柄(7)，筒夹螺帽(8)，连接盘(9)，盖板(10)，连接销钉(11)，球头连接件(12)，轴端连接销钉(13)，限位销钉(14)，弹簧筒夹(15)和弹性浮动单元(16)，其中：支撑板(2)上排布多个通过螺钉固定连接的弹性浮动单元(16)，弹性浮动单元(16)底部的浮动盘(161)表面粘接抛光垫(1)，用于抛光工件表面；支撑板(2)通过螺钉固定连接盘(9)，连接盘(9)为中心处为圆柱底面并开有...
【技术特征摘要】
1.一种用于大口径光学元件加工的可变形柔性抛光工具，其特征在于，该抛光工具包括：抛光垫(1)，支撑板(2)，轴向连接件(3)，弹性挡圈(4)，滚珠花键轴(5)，滚珠花键轴套(6)，连接柄(7)，筒夹螺帽(8)，连接盘(9)，盖板(10)，连接销钉(11)，球头连接件(12)，轴端连接销钉(13)，限位销钉(14)，弹簧筒夹(15)和弹性浮动单元(16)，其中：支撑板(2)上排布多个通过螺钉固定连接的弹性浮动单元(16)，弹性浮动单元(16)底部的浮动盘(161)表面粘接抛光垫(1)，用于抛光工件表面；支撑板(2)通过螺钉固定连接盘(9)，连接盘(9)为中心处为圆柱底面并开有矩形槽，穿过球头连接件(12)中心的连接销钉(11)嵌入连接盘(9)的矩形槽内，传递转动功能，盖板(10)通过螺钉固定在连接盘(9)上表面，用于避免支撑板(2)提起时发生脱落；球头连接件(12)上端表面加工有外螺纹，与下端加工有内螺纹的轴向连接件(3)通过螺纹副实现连接固定，传递来自连接柄(7)的转动功能；滚珠花键轴(5)的下端加工有垂直于轴向的圆柱孔，轴向连接件(3)上端加工有直径相同的圆柱孔，使用轴端连接销钉(13)穿过滚珠花键轴(5)和轴向连接件(3)设置的圆孔，实现两者的连接固定，弹性挡圈(4)嵌套在轴向连接件(3)外表面的凹槽内，以防止轴端连接销钉(13)发生脱落；滚珠花键轴(5)的上端加工有垂直于轴向的圆柱孔，用于安装限位销钉(14)，以防止滚珠花键轴(5)从滚珠花键轴套(6)内脱落；滚珠花键轴(5)和滚珠花键轴套(6)配合使用，滚珠花键轴(5)可在滚珠花键轴套(6)内发生纵向滑动的同时可以传递回转运动；滚珠花键轴套(6)通过螺钉连接固定在连接柄(7)的下端；连接柄(7)的上端加工有锥孔，用于安装弹簧筒夹(15)，弹簧筒夹(15)的内孔用于连接外设主轴，使用时通过筒夹螺帽(8)锁紧，实现弹簧筒夹(15)与外设主轴的固定连接，实现传递回转运动，并依次经过连接柄(7)，滚珠花键轴(5)，球头连接件(12)，连接盘(9)将回转运动传递到支撑盘(2)上。
2.根据权利要求1所述的一种用于大口径光学元件加工的可变形柔性抛光工具，其特征在于：所述的弹性浮动单元(16)由浮动盘(161)，浮动盘盖板(162)，滑动轴(163)，轴套(164)，限位筒(165)，连接圆盘(166)以及精密压缩弹簧(167)组成...
【专利技术属性】
技术研发人员：饶志敏，刘海涛，万勇建，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：四川;51
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