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背面入射型半导体光检测元件制造技术
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文档序号:26483734
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半导体基板(11)具有彼此相对的第一主面(11a)和第二主面(11b)。半导体基板(11)具有:第一导电类型的第一半导体区域(13);和与第一半导体区域(13)构成pn结的第二导电类型的多个第二半导体区域(15)。半导体基板(11)在第二主...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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