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受光元件以及受光元件的制造方法技术
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文档序号:26483733
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本发明提供一种受光元件,其具备:具有包含受光部和遮光部的第一面的半导体部;以及设置于所述遮光部上的用于遮光的金属膜,所述金属膜具有面向与所述第一面相反一侧且接受光的入射的第二面,在所述第二面形成有多个凹部,所述凹部的内表面包含以沿所述第二面...
该专利属于浜松光子学株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过浜松光子学株式会社授权不得商用。
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