下载工件加工用片的技术资料

文档序号:26483713

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本发明涉及一种工件加工用片1,其至少具备基材2与层叠于基材2的第一面侧的粘着剂层3,其中,基材2的第二面的算术平均粗糙度(Ra)为0.01μm以上、0.4μm以下,基材2的第二面的最大高度粗糙度(Rz)为0.01μm以上、2.5μm以下,基...
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